在光刻机类上市公司中，很难确切地说哪家公司的技术实力最强，以下是几家技术实力较为突出的公司：

张江高科

作为上海微电子的重要股东之一，间接持股10.779%，上海微电子在国产光刻机领域地位重要，张江高科通过投资与园区产业孵化等方式，不断推动光刻机相关技术和产业的发展.

波长光电

在微纳光学技术方面全球领先，其精密光学元件的研发技术和制造工艺雄厚，正在建设微纳光学实验室，提升产品技术水平和研发能力，该技术可应用于光刻机等精密光学设备.

腾景科技

在光学光电子领域技术沉淀深厚，突破并掌握多项核心技术，形成从光学元组件到光电模组的垂直整合能力，产品技术指标达到行业先进水平，其多波段合分束器已进入微电子供应链十七.

晶方科技

全球第二大能为影像传感芯片提供晶圆级芯片尺寸封装量产服务的专业封测服务商，拥有全球最大的12英寸csp封装产线，封装能力占全球近40%的市场份额，其技术和市场地位有助于光刻机相关零部件及系统的封装测试等环节.

赛微电子

一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务，在MEMS制造等领域拥有先进技术和工艺，是我国导航定位领域的国家级高新技术企业和“双软”认证企业.

中微公司

在半导体设备领域技术实力强劲，其刻蚀机等产品已在市场上取得领先地位，并受益于半导体国产替代，凭借技术专利建立起了壁垒，其研发和技术积累对光刻机相关技术的研发有一定的协同和促进作用.